寺廟建築物依法興建後整個過程可以參考辦理寺廟設立登記作業流程圖，另申請寺廟設立應檢附文件，除檢附辦理寺廟登記須知附件外，其餘文件可參考內政部108年9月16日台內民字第1080224604號函寺廟設立登記申請書、寺廟負責人國民身分證正反面等身分證明文件影本等6種參考格式範例。